فصل ششم : انجام آزمایشات
مقدمه ………………………………………………………………………………………………………………………………………….۶۱
عوامل موثر در فرایند………………………………………………………………………………………………………………………۶۱
پودر ساینده…………………………………………………………………………………………………………………………………………………….۶۱
سختی…………………………………………………………………………………………………………………………………۶۲
آزمون سختی الاستیک : (سختی برگشت یا انعکاس )………………………………………………………………………………۶۳
۲٫۱٫۱٫۲٫۶ آزمون سختی خراش : (مقاومت در برابر برش یا س…………………………………………………………………………………۶۳
۳٫۱٫۱٫۲٫۶ آزمون سختی فرورفتگی : (مقاومت در برابر فرورفتگی)……………………………………………………………………………..۶۳
اندازه ذرات…………………………………………………………………………………………………………………………….۶۶
جنس ذرات……………………………………………………………………………………………………………………………۶۷
۱٫۳٫۱٫۲٫۶ کاربید سیلیکون (SiC)……………………………………………………………………………………………………………….67
۲٫۳٫۱٫۲٫۶ کاربید بور(B₄C)……………………………………………………………………………………………………………………..69
۳٫۳٫۱٫۲٫۶ اکسید سریم CeO₂ …………………………………………………………………………………………………………………۷۱
سرعت چرخش اسپیندل……………………………………………………………………………………………………………….۷۳
مدت زمان پولیش کاری……………………………………………………………………………………………………………….۷۴
نیروی وارد بر هر ساچمه……………………………………………………………………………………………………………….۷۴
نحوه اعمال نیرو………………………………………………………………………………………………………………………۷۴
انتخاب مقادیر نیروی اعمال شده…………………………………………………………………………………………………..۷۵
نحوه اندازه گیری نیروی اعمال بر ساچمه ها……………………………………………………………………………………..۷۵
۳٫۶ طراحی آزمایشات…………………………………………………………………………………………………………………………….۷۶
فهرست مراجع………………………………………………………………………………………………………………………………………..۷۹
فهرست اشکال:
شکل (۱-۳) : جهت نیروی وارده بر جسم غیر مغناطیسی ……………………………………………………………………………..۱۸
شکل (۲-۳) : شماتیک روش MFP ……………………………………………………………………………………………………………19
شکل(۳-۳) شماتیکی از منطقه تماس در CMP …………………………………………………………………………………………..29
شکل(۱-۴): الف)درپوش محفظه، ب)محفظه………………………………………………………………………………………………..۳۷
شکل(۲-۴): اسپیندل…………………………………………………………………………………………………………………………………۳۸
شکل(۳-۴): دیواره……………………………………………………………………………………………………………………………………..۳۹
شکل(۴-۴): صفحه معلق اکریلیکی………………………………………………………………………………………………………………۴۰
شکل(۵-۴): نوار لاستیکی…………………………………………………………………………………………………………………………..۴۱
شکل(۶-۴): مدل مونتاژ شده تجهیزات مکانیکی…………………………………………………………………………………………….۴۲
شکل(۷-۴): میدان ناشی از عبور جریان از سیم حلقوی…………………………………………………………………………………..۴۵
شکل(۸-۴): اندازه ابعادی سیم پیچ و هسته ………………………………………………………………………………………………….۵۲
شکل(۹-۴): طرح کلی آهن ربای الکتریکی همراه با کنترلر……………………………………………………………………………..۵۳
شکل(۱۰-۴): نحوه پراکندگی خطوط میدان در اطراف سیم پیچ …………………………………………………………………………….۵۴
شکل(۱-۵): آهن ربای الکتریکی همراه با ورودی جریان………………………………………………………………………………….۵۶
شکل(۲-۵): آهن ربای الکتریکی………………………………………………………………………………………………………………….۵۷
شکل(۳-۵): واحد کنترلر آهن ربای الکتریکی………………………………………………………………………………………………..۵۷
شکل(۴-۵): مجموعه تجهیزات الکتریکی………………………………………………………………………………………………………۵۸
شکل(۵-۵): ساچمه های سرامیکی Si₃N₄ …………………………………………………………………………………………………………………..۵۹
فهرست جداول و نمودارها:
جدول (۱-۳): ذرات ساینده‌ای که معمولا برای پولیش‌کاری Si₃N₄ استفاده می‌شوند ………………………………………..۲۵

جدول (۱-۶):خواص فیزیکی و مکانیکی SiC……………………………………………………………………………………………….68
جدول (۲-۶): خواص فیزیکی و مکانیکی B₄C………………………………………………………………………………………………70
جدول (۳-۶): خواص فیزیکی و مکانیکی CeO₂…………………………………………………………………………………………….72
جدول (۴-۶): ترتیب انجام آزمایشات طراحی شده توسط نرم افزار MINITAB………………………………………………..
78
جدول (۵-۶): ترتیب انجام آزمایشات برای مراحل مختلف……………………………………………………………………………….۷۹
نمودار(۱-۳): تاثیر انواع ذرات ساینده را روی صافی سطح حاصله را در روش CMP…………………………………………..27
فصل اول