۲-۲ تحقیقات قبلی در رابطه با پدیده ناپایداری در ساختارهای MEMS 28
۲-۳ تحقیقات قبلی در رابطه با آنالیز فرکانسهای طبیعی ساختارهای MEMS 30
۲-۵ تحقیقات قبلی در رابطه با بررسی اثر ولتاژ آنیدر ساختارهای MEMS 30
۲-۶ کارهای انجام شده مرتبط با پروژه ۳۱
فصل سوم: توصیف مدل و استخراج معادلات حاکم برمسئله ۳۴
۳-۱معرفی مدل مورد مطالعه ۳۴
۳-۲ مدلسازی ریاضی برای محرکهای میکروالکترومکانیکی الکترواستاتیکی ۳۵

۳-۳ فرمولبندی برای ارتعاشات سیال ۳۸
۳-۴ارتعاشات کوپل شده سیستم ۴۳
۳-۵ حل مقدار ویژه سیستم (ارتعاشات آزاد) ۴۴
۳-۶ روابط جرم افزوده ۴۵
فصل چهارم: نتایج عددی و بحث ۴۷
۴-۱ بازبینی و تصدیق روش ارائه شده برای سیال نامحدود ۴۷
۴-۲ نتایج عددی ومباحثه برای ارتعاشات آزاد ۴۸
۴-۳ نتایج عددی و مباحثه برای ارتعاشات اجباری با اعمال ولتاژ آنی ۶۰
فصل پنجم: نتیجه گیری و پیشنهاد ۶۶
مراجع ۶۸
فهرست اشکال
شکل۱-۱ قطعات ساخته شده با بهره گرفتن از فناوری MEMS 1
شکل ۱-۲ اجزای تشکیل دهنده MEMS 2
شکل۱-۳نمائی شماتیکی از تراشه MEMS 3
شکل۱-۴ تکنولوژی میکروسیستم ۴
شکل۱-۵تکامل تدریجی بازار MEMS 4
شکل۱-۶اندازه موارد مختلف بر حسب متر ۷
شکل۱-۷ یک مورچه در زیر میکروسکوپ الکترونی ۱۱
شکل۱-۸نمونه مینیاتوری اولین خودروی مسافربری تویوتا ۱۱
شکل۱-۹کوچکترین گیتار جهان ۱۱
شکل۱-۱۰ میکروپمپ تحت اثر نیروی مغناطیسی ۱۲
شکل۱-۱۱پاهای یک حشره بر روی چرخ دنده های میکروماشینکاری شده ۱۲
شکل۱-۱۲ دیاگرام شماتیکی از میکرومحرک الکترواستاتیکی ۱۳
شکل۱-۱۳دیاگرام شماتیکی از میکرومحرک و میکروموتور الکترواستاتیکی ۱۴
شکل۱-۱۴دیاگرام شماتیکی از میکرومحرک پنوماتیک گرمائی ۱۵
شکل۱-۱۵انواع ساختارهای میکروماشینکاری حجمی ۱۷
شکل۱-۱۶میکروماشینکاری سیلیکون حجمی ۱۹
شکل۱-۱۷میکروماشینکاری سطحی سیلیکون ۲۰
شکل۱-۱۸ مثالی ازمیکروماشینکاری سطحی اصلاح شده ۲۲
شکل۱-۱۹ دیاگرام شماتیکی از ایجاد نیروی الکترواستاتیکی ۲۵
شکل۱-۲۰ میکرو محرک ۲۶
شکل۲-۱تاریخچه MEMS در ایالات متحده از ۱۹۵۰ تا ۲۰۰۰ ۲۸
شکل۳-۱ طرح اجمالی از میکروتیر و محفظه سیال مورد نظر ۳۵
شکل۴-۱ شکل مدهای تیر و سیال در مد ۱ ۵۰
شکل۴-۲شکل مدهای تیر و سیال در مد ۲ ۵۱
شکل۴-۳ شکل مدهای تیر و سیال در مد ۳ ۵۲
شکل۴-۴ شکل مدهای تیر و سیال در مد ۴ ۵۳
شکل۴-۵تغییرات فرکانس طبیعی بعلت حضور سیال ۵۴
شکل۴-۶نمودار همگرایی ۵۵
شکل۴-۷ تغییرات فرکانسهای طبیعی نسبت به تغییرات دانسیته سیال ۵۵
شکل۴-۸ تغییرات فرکانسهای طبیعی نسبت به تغییرات طول میکروتیر ۵۶
شکل۴-۹ تغییرات فرکانسهای طبیعی نسبت به تغییرات محل قرارگیری تیر در مخزن ۵۷
شکل۴-۱۰ تاثیر تغییرات طول تیر بر روی شکل مدهای تیر خشک و خیس در مد اول ۵۸
شکل۴-۱۱ تاثیر تغییرات طول تیر بر روی شکل مدهای تیر خشک و خیس در مد دوم ۵۸